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产品名称： AL120晶圆搬送机
发布日期： 2016-03-16
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产品详情
AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆，可以安全高效搬送薄片晶圆，非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。
我们推出了200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（对应小于150mm的晶圆）的3种型号。除此以外，您还可以根据检查模式，选用微观检查专用型号"L型"或微观•宏观检查兼用型号"LMB型"。
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