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产品名称： AL120-12晶圆搬送机
发布日期： 2016-03-16
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产品详情
AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP（装载口）和FOSB，适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全。
可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性。
分别对应FOUP(Load Port）和FOSB的两种机型。
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